光が物体の表面や内部に進む際、微細な凹凸、キズ、または物質内の粒子などに衝突することによって、様々な方向へと不規則に跳ね返る(散乱する)光のこと。

マシンビジョンにおいては、主にワーク(対象物)の表面にある目に見えないほどの微細なキズや、ざらついた面(粗面)を検出する際に利用されます。平坦な面で発生する「鏡面反射光」をカメラに入射させず、キズなどの異常箇所で発生した「散乱光」だけをカメラに捉えさせることで、背景を暗く、欠陥部分だけを明るく鮮明に浮かび上がらせる(暗視野検査)ことが可能になります。

主な用途
・金属やガラス、プラスチック表面の微細なキズ・ひび割れ・バリの検出
・梨地処理(マット加工)やヘアライン加工などの、表面の質感(粗さ)の評価・違いの識別
・フィルムや透明な樹脂の内部にある異物、気泡の検査

代表的な照明の種類
ローアングルリング照明バー照明など

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